常用的六氟化硫氣體檢漏方法可分為定性和定量兩種： 

1、定性是對設備各接頭直接檢測，查出泄漏點，常用的方法有抽真空檢漏和檢漏儀檢漏。 

2、定量是用封閉罩法、掛瓶法及局部包扎法、壓力折算法求出泄漏點的泄漏量，從而得出氣室的年泄漏率。