在半導體器件、集成電路等元器件管殼的封接處,及引線接頭處等,會因為各種原因導致出現(xiàn)肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞。在進行元器件封裝之后,就需要采取某些方法,來進行漏洞的檢測。就我們深圳氣體廠家小編了解以下兩點,就是氦氣在檢漏方面的應用:
1、采用氦氣檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞,是因為氦原子尺寸小,容易穿過小洞而進入到管殼內(nèi)部,所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞(即能夠檢測出漏氣速率約為10?11~10?12cm3/sec的小洞)。
2、使用氦氣進行檢漏試驗時,首先將封裝之后的元器件放入充滿氦氣的容器中,之后進行加壓,使氦氣通過小洞而進入管殼中;然后取出,并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣;接著采用質(zhì)譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。
使用氦氣進行檢漏,其靈敏度可與放射性檢漏方法匹敵,但要比放射性檢漏方法更加簡便。